Moteurs à bobine acoustique cylindriques de haute précision 44N pour équipements à semi-conducteurs

Vue d'ensemble du produit

Le VCAR0044-0075-00A est un moteur à bobine vocale cylindrique spécialement conçu pour atteindre une haute précision de positionnement.Ce moteur à bobine vocale fournit un mouvement linéaire direct avec une poussée maximale de 44 N sur 7.5 mm de course et atteint une résolution de positionnement de 0,5um lorsqu'il est utilisé dans la commande en boucle fermée avec un codeur linéaire.
La conception de bobine mobile sans contact élimine les réactions, les engrenages et l'hystérésis, permettant au moteur de maintenir sa position et de revenir à plusieurs reprises au même endroit.la trajectoire de mouvement rigide et la faible masse en mouvement donnent au système une largeur de bande mécanique élevée, aidant la servo-boucle à supprimer les perturbations et à se stabiliser rapidement.
Ce moteur à bobine vocale est fabriqué à partir de composants de précision et d'un circuit magnétique équilibré pour maintenir une faible force d'ondulation.Les rails de guidage au sol de précision et les aimants assortis maintiennent l'ondulation de la force inférieure à 1% de la valeur nominale de sortie tout au long de la courseIl s'agit d'un composant idéal pour l'alignement, l'inspection ou l'équipement de mesure au niveau du micromètre.

Solution

Les erreurs de positionnement dans les équipements de précision proviennent généralement de réactions négatives, de frottements de glissement du bâton, de dérive thermique et de résonance mécanique.Les moteurs à bobine vocale éliminent complètement les deux premières sources d'erreur: il n'y a pas d'engrenages ou de vis de plomb pour provoquer un contrecoup, et la conception de bobine sans contact signifie qu'il n'y a pas de frottement statique à surmonter.Les erreurs restantes sont contrôlées par un système en boucle fermée qui intègre un codeur linéaire haute résolution, qui fournit un retour direct sur la position réelle de la charge.
Comme la force est proportionnelle au courant, le servosystème peut appliquer avec précision exactement la bonne quantité de force pour obtenir des mouvements de 0,5 micromètre ou maintenir une position stable sous charge.Le résultat est un axe de mouvement avec une précision de micromètre, sans dérive induite par l'usure, et une performance constante sur des millions de cycles.
Comme il n'y a pas de frottement, les effets de glissement des bâtons - une cause commune de frottement dans les étapes traditionnelles - ne se produisent pas même à des vitesses extrêmement faibles.cette solution augmente le débit tout en réduisant les déchets et le retraitement.

Les spécifications

Application du projet

Applications typiques: Il s'agit notamment de l'alignement des plaquettes à semi-conducteurs, de la photonique et de l'alignement des fibres, du positionnement de la tête de traitement laser, de la mise au point de l'axe Z dans les microscopes, des plates-formes de mesure de précision,inspection du masque, et le positionnement des dispositifs médicaux.
Cet actionneur à bobine vocale est également utilisé dans les systèmes de mise au point automatique pour les appareils photo industriels et pour le contrôle de précision des vannes dans les instruments d'analyse.Toute tâche de mouvement de courte durée nécessitant une résolution sous-microne et des capacités de maintien de position stable peut bénéficier de cet actionneur.

Questions fréquentes

Q: Comment obtenir une résolution de 0,5 mm?
R: La résolution provient de la combinaison d'un moteur à bobine vocale sans frottement et d'un codeur linéaire haute résolution dans une boucle servo fermée.et la sortie de force douce du moteur permet des mouvements en une seule étape de 0.5 mm.

Q: Quels facteurs influent sur la répétabilité?
R: La répétabilité dépend principalement de la qualité de l'encodeur, du servo-tuning et de la stabilité thermique.la répétabilité mécanique reste donc constante sur toute la durée de vie du moteurL'étalonnage régulier de l'encodeur est le seul entretien de routine recommandé.

Q: Le moteur peut-il maintenir sa position lorsqu'il est alimenté?
R: Oui. Dans une boucle fermée, le servo peut maintenir la bobine à n'importe quelle position de la course en équilibrant la force contre la charge.

Q: Puis-je obtenir une option de stroke ou de codeur personnalisée?
R: Oui. SUPT MOTION peut régler le coup, la force, la tension et le type d'encodeur. Contactez-nous avec votre objectif de précision et votre profil de mouvement pour une proposition sur mesure.