Moteur à bobine de voix linéaire de haute précision pour le contrôle de micro-mouvement des semi-conducteurs

Dans les processus de fabrication de semi-conducteurs tels que le traitement des plaquettes, la lithographie, l'inspection et l'emballage, le contrôle du micro-positionnement nécessite une très grande précision, une réponse rapide et une stabilité à long terme. Les moteurs linéaires à bobine mobile, qui fonctionnent en entraînement direct et offrent d'excellentes performances dynamiques, sont devenus une solution d'actionnement idéale pour le contrôle des micro-déplacements dans les équipements de semi-conducteurs.

Les moteurs linéaires à bobine mobile génèrent une poussée directement par force électromagnétique, ce qui permet un mouvement linéaire sans frottement et sans jeu, avec une résolution de positionnement de l'ordre du micromètre, voire du nanomètre. Comparés aux mécanismes traditionnels à vis mère ou à servocommande, les moteurs linéaires à bobine mobile offrent une précision et une répétabilité de positionnement supérieures sur de courtes courses. Ils sont particulièrement adaptés à l'alignement des plaquettes, à la mise au point optique, au contrôle du contact des sondes et aux platines de positionnement de précision.

Dans les applications de balayage à grande vitesse et de compensation dynamique, les moteurs linéaires à bobine mobile offrent une accélération élevée et une réponse haute fréquence, ce qui permet un suivi précis des commandes de contrôle et une compensation efficace des erreurs du système et des perturbations environnementales. Leur mouvement fluide et à faibles vibrations permet de minimiser les perturbations du processus dans la fabrication de microstructures et d'assurer des performances de processus stables.