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Moteur linéaire ultrafin miniature à haute fréquence pour le contrôle des wafers
| Lieu d'origine | Jiangsu, Chine |
|---|---|
| Nom de marque | SUPT |
| Certification | 3C, CE, ISO9001 |
| Numéro de modèle | Une série |
| Quantité de commande min | ≥ 1 |
| Prix | $150.00/pieces >=1 pieces |
| Détails d'emballage | en carton et selon les exigences du client<br/>petit moteur linéaire |
| Délai de livraison | 1-5 pièces, 5 jours. > 20 pièces, à négocier |
| Conditions de paiement | T/T |
| Capacité d'approvisionnement | à négocier |
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x| Garantie | 3 mois à 1 an | Usage | BATEAU, voiture, bicyclette électrique, UAV, robot, ventilateur médical, microscope, endoscope, opti |
|---|---|---|---|
| Taper | Micro moteur | Couple | Les demandes |
| Construction | Aimant permanent | Protéger la fonctionnalité | Totalement enfermé |
| Vitesse (tr / min) | Grande vitesse | Courant continu (A) | Actuel |
| Efficacité | IE 1 | Nom du produit | Déclencheur linéaire |
| Application | Produit automatique | Type de moteur | Moteur permanent |
| Mots-clés | Petit moteur linéaire | Nom | Un moteur de série |
| Tension nominale | 1.2-12V | Taille | 30 mm |
| Couleur | Argent | Article | Mini Electric Motors |
| Emballage | en carton | Port | Port de Shanghai |
| Mettre en évidence | moteur servo linéaire à haute fréquence,moteur de commande de plaquette ultra-mince,moteur linéaire miniature pour plaquettes |
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Description du produit:
L'armature du moteur linéaire est constituée uniquement de bobines sans aimants, éliminant l'attraction magnétique entre les pièces mobiles et les pièces stationnaires.assurer un bon fonctionnementSa construction légère permet des performances à grande vitesse et à grande accélération.La course peut être prolongée arbitrairement, fonctionnant silencieusement et sans entretien.Largement utilisé dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs, des équipements d'essai de précision pour l'industrie de l'affichage à écran plat, des machines de découpe/marquage laser et des systèmes d'inspection de vision automatique.
La technologie du moteur linéaire est le principal moteur de l'avancement des équipements de fabrication de semi-conducteurs, servant de moteur direct essentiel pour obtenir un positionnement précis des plaquettes et un mouvement à grande vitesse.
En tirant parti de ses caractéristiques de haute précision, de vitesse, d'accélération et de mouvement lisse, le moteur linéaire permet une extraction précise des plaquettes à partir de cassettes dans les systèmes de transfert de plaquettes,placement de haute précision sur des stations de traitement, et le retour rapide des plaquettes sur cassettes après traitement.
Dans les plates-formes de positionnement de précision, les moteurs linéaires soutiennent et positionnent avec précision les plaquettes.Les porteurs de gaufres doivent effectuer des mouvements d'escalade et de balayage au niveau du nanomètre dans le plan XY pour compléter l'exposition.Dans les microscopes et les équipements de détection de défauts, les plaquettes doivent également être déplacées avec précision sous les sondes d'inspection.
Paramètres du produit:
| Paramètres de performance du moteur linéaire | |||||||
| La série A - MLCA (Dynamique) | |||||||
| Modèle/parité | Les États membres doivent respecter les dispositions de la présente directive. | Les États membres doivent veiller à ce que les mesures prises soient conformes à l'article 6 du présent règlement. | Les États membres doivent veiller à ce que les mesures prises soient conformes à l'article 6 du présent règlement. | ||||
| Force maximale ((Fp) | N | 60 | 120 | 240 | |||
| Courant de pointe (lp) | Ampères | 4.8 | 4.2 | 4.2 | |||
| Force continue (Fc) | N | 20 | 40 | 80 | |||
| courant continu (lc) | Ampères | 1.6 | 1.4 | 1.4 | |||
| Constantes de l'actionneur (conversion du moteur CC/3p) (Ka) | N/W | 5.65 | 7.9 | 11.2 | |||
| Poussée constante (L-L) (Kf) | N/ampères | 15.3 | 30.4 | 60.3 | |||
| Constante de champ électromagnétique arrière (L-L) (Kb) | V/m/s | 8.8 | 17.6 | 34.8 | |||
| Constante électrique (Te) | ms | 0.3 | 0.3 | 0.3 | |||
| Résistance (L-L) | @25°CΩ | 4.8 | 9.4 | 19.2 | |||
| Inductivité (L-L) (l) | Je ne sais pas. | 1.51 | 3 | 6 | |||
| Coefficient de transfert de chaleur ((Rth) | °C/W | *3.9 | *1.9 | **1.3 | |||
| Température maximale de la bobine ((Tmax) | °C | 120 | 120 | 120 | |||
| Le pouls du pôle magnétique ((2T) | mm | 30 | 30 | 30 | |||
| Poids du déménageur | Poids de la pâte | 0.24 | 0.42 | 0.82 | |||
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Les moteurs linéaires par rapport aux moteurs rotatifs traditionnels:
| Caractéristiques | Moteur linéaire | Les méthodes de transmission traditionnelles (vis/ceinture) | ||||
| Haute précision | L'entraînement direct sans composants de transmission intermédiaires élimine les contre-réactions et les erreurs de contre-réaction, ce qui permet une précision de positionnement au niveau des nanomètres. | Il existe des réactions, des déformations élastiques et des frottements, limitant la précision généralement au niveau du micromètre. | ||||
| La vitesse et Accélération |
Il atteint des vitesses de plusieurs en mètres par seconde et accélérations supérieures à 10 G, augmentation significative de l'équipement le débit. |
Limité par la rotation, la vitesse et l'inertie de la vis, ce qui entraîne une vitesse et une accélération plus faibles. | ||||
| Haute douceur | Mouvement en douceur sans contact transmission et minimale Les vibrations sont essentielles pour procédés sensibles aux vibrations comme la lithographie. |
Frottement par contact dans la transmission La chaîne peut générer des vibrations et du bruit. |
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| Une grande propreté | Fonctionnement sans lubrification élimine la graisse ou l'usure Particules, répondant à l'ultra- exigences élevées en matière de propreté de la fabrication de semi-conducteurs. |
La lubrification est nécessaire, ce qui pose un problème de risque de contamination. |
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| Une grande fiabilité et longue durée de service La vie |
Parties primaires et mobiles (magnétiques) Les traces et les bobines) n'ont pas de fonction mécanique contact, entraînant une usure minimale et une durée de vie plus longue. |
Plusieurs points de contact mécaniques sont soumis à l'usure, nécessitant une utilisation régulière l'entretien |
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| Compatibilité sous vide | Facilement conçu pour le vide. modèles compatibles, ce qui le rend idéal pour les équipements de traitement sous vide. |
Position de lubrification et de dissipation de chaleur des défis importants dans les environnements sous vide. |
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